真空残余气体质谱

PrismaPlusTM---真空残余气体质谱

显著特点:

●紧凑--易于和真空系统集成
●高灵敏度和高检测极限
●Quadera视窗软件,功能齐全
●测量速度快，最快可达2ms/AMU
●双灯丝
●5路模拟输入和4路模拟输出信号
●5路数字输入和16路数字输出信号
●快速放大,高动态范围,自动切换量程
●峰位稳定,自动校准电子学零漂
●耐烘烤温度最高到300o,90度转角空间节省型可选

技术参数：

PrismaTM QMS200F QMS200M
质量数范围amu 1~100, 1~200,1~300 1~100, 1~200, 1~300
检测器法拉第筒法拉第+通道倍增器
检测极限mbar (和质量数有关) <4×10-12 <2×10-11/<10-14
Ar的灵敏度A/mbar >1×10-3 >5×10-4/200
最大工作压强mbar 1×10-4 1×10-4/1×10-5
重量Kg 3 4.4
广泛适用于研发,高能物理,环境,清洁度检测

应用领域:

●真空残余气体分析
●超高真空残余气体分析
●溅射过程气体分析
●等离子体过程气体分析
●蒸发材料气体分析
●在线气体分析
●微量夹杂气体分析
●呼吸气体分析
●充气气体成分分析
●同位素分析
●光学镜片清洁度检测
●电子显微镜水分检测
●半导体基片清洁度检测