IoN 100旨在满足用户不断变化的需求,着重于表面处理需求的多功能性和可控性。其先进的性能提供了出色的工艺控制、失效保护报警系统和数据采集软件。这使该设备可满足严格的质量控制程序。IoN 100结构紧凑、集成度高,采用射频(RF)激发等离子体。新型 IoN 100 的一个设计特点是可以快速方便的更换不同类型的腔室和电极结构。
先进的功能性:
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灵活快速的更换不同结构的电极和腔室
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安装简单快捷
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可选配机载气体发生器
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节能的操控功能使用户成本最低化
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可配置的腔室可使用各种不同的电极构造,适用于小尺寸的结构复杂的三维工件或大批量的大工件处理
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采用Windows操作系统的计算机控制
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图形用户界面(GUI) ,操作软件符合Semi E95-1101和 FDA CFR第21章第Ⅱ部分的要求
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菜单驱动式工艺过程
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以太网通讯功能
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绘图和自诊断功能
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液晶触摸屏(LCD)操作面板和键盘
规格参数
工作腔室
材质 铝
容积 100 升(标配)
可按用户需求定制腔室大小
内部尺寸 375 x 375 x 711 mm (宽/高/深)(标配)
375 x 375 x 965 mm (宽/高/深)(选配)
工艺气体
质量流量控制计 最多至6路气体
工艺压力 大约0.16~2.66 mbar(取决于真空泵和气体流量)
抽真空时间 大约1分钟(取决于真空泵)
射频电源 风冷
频率 100KHz,13.56 MHz,2.45GHz
输出功率 0~600瓦(标配)
0~1250瓦(选配)
供给需求
电源 380 V / 50 Hz,三相,15A
工艺气体 输入压力1~2 bar(14.5~29 PSI)
吹扫气体 输入压力1~2 bar(14.5~29 PSI)
压缩空气 输入压力4~6 bar(58~87 PSI)
机体
设备尺寸
标准尺寸 737 x 1980 x 1118 mm
100升铝质腔室
选配尺寸 635 x 1120 x 1473 mm
136升铝质腔室
重量 350千克
可选配置
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1%精度的真空规
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循环水冷机
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压力控制器
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指示灯柱
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条形码阅读器
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光谱终点检测器
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耐腐蚀性气体的MFC
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液态单体操作装置
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气相MFC
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真空泵(旋片泵、干泵、涡旋泵和罗茨泵组)
安全认证标准
北京哲勤科技有限公司为您提供IoN 100 等离子清洗机,nullIoN 100产地为美国,属于等离子体表面处理仪,除了IoN 100 等离子清洗机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多等离子体表面处理仪,北京哲勤客服电话,售前、售后均可联系。