光谱学在薄膜制造中的应用

2021-07-14 14:30  下载量:3

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通过在薄膜测量过程中利用反射光谱,工程师现在能够在制造过程的所有阶段快速且经济高效地测试薄膜厚度。Avantes 公司可以提供多种系列的微型光谱仪、光源和探头,与AvaSoft 薄膜测量软件配合使用,可以对厚度从 10 nm 到 50 μm 的单层薄膜进行测量,分辨率为1 nm。我们提供可选的薄膜标准样品,这些标准样品包括没有镀膜的基底和已知膜层厚度的镀膜基底,用于确认和验证镀膜过程的可靠性和可重复性。

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