| 型号： | GSL-1100X-SPC- 12H |
| 产地： | 辽宁 |
| 品牌： | 沈阳科晶 |
| 评分： |
|
产品简介：GSL-1100X-SPC-12H加热型等离子薄膜溅射仪专门为在基底上镀金属膜（如金、铂、铟、银等）而设计，最大放置样品尺寸直径为40mm，膜厚可达300?，特别适用于为SEM样品镀金而作为导电极。
产品型号 | GSL-1100X-SPC-12H加热型等离子薄膜溅射仪 |
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上）清洗，需自备氩气气瓶 4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 5、通风装置：需要 |
主要特点 | 1、配有2L/s双旋片机械泵，出气口装有立式油雾过滤器，过滤真空泵工作时产生的油烟，减少泵的损耗，保护环 境和人体健康。 2、已经过CE认证。 |
技术参数 | 1、输入电源：208V-240V 50Hz/60Hz <3000W 2、石英腔体：?100mm×130mm 3、样品台：?60mm，高度可调节，可加热到600℃ 4、温控器：30段可编程温度控制器，控温精度±1℃ 5、升温速率：15℃/min（推荐） 6、靶材：纯度为4N的金靶，?57mm×0.12mm 7、进气口：装有不锈钢针阀，可通入氩气，能实现更好的等离子涂层 |
产品规格 | 尺寸：480mm×320mm×150mm；重量：20kg |
标准配件 | 1、金靶 2、真空泵 3、不锈钢波纹管 4、快速卸装卡箍 |
可选配件 | Au、Pt、Ag靶 |
工商信息
信息已认证
关注
拨打电话
留言咨询
