型号: | VTC-100-SE |
产地: | 辽宁 |
品牌: | 沈阳科晶 |
评分: |
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产品名称 | VTC-100-SE基本型桌面式喷胶机 |
主要特点 | 1、可台面式操作,外形尺寸紧凑 2、超声波雾化或二流体雾化喷嘴可选 3、底盘旋转加热,XY电缸移动式喷胶 4、可处理最大基片尺寸为8寸晶圆,向下兼容 |
技术参数 | 1、热盘温控范围:室温—150℃,温度分辨率:0.1℃ 2、温度均匀性:小于±1%(工作范围内) 3、胶体流速范围:1-20ml/min 4、电缸移动速度:1-200㎜/s 5、电缸定位精度:±0.02㎜ 6、电缸有效行程:300×300㎜ 7、超声波雾化粒径:小于50μm |
产品规格 | 外形尺寸:928(W)×800(D)×510(H)㎜ |
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