型号: | SP-25TC |
产地: | 安徽 |
品牌: | 沈阳科晶 |
评分: |
![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
25KW程序控温感应熔炼炉SP-25TC是一款小型程控感应熔炼系统,配备有直径?100mm的石英管、不锈钢法兰、石墨坩埚、真空泵、水冷机和移动架,最大功率为25KW,是生长晶体和合金熔炼(熔点< 1700oC)的理想选择。
25KW程序控温感应熔炼炉SP-25TC操作视频
产品型号 | 25KW程序控温感应熔炼炉SP-25TC |
安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水) 2、电:AC380V 50Hz(63A空气开关),必须有良好接地 3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带?6mm双卡套接头) 4、工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上 5、通风装置:需要 |
主要特点 | 1、配有可耐1800℃的高纯氧化铝纤维制作的耐火砖,用于支撑石墨坩埚,并防止热量辐射。 2、设有自动水压、过热、功率过高保护系统。 3、温控器采用PID方式控温,可设置30段升降温程序,设有过热和断偶保护功能。 4、配有防腐型真空计,当气压在10mbar以上时,不需因测量气体种类的不同进行系数转换,量程可到3.8×10E-5 torr。 5、配有双旋直连式机械泵。 |
技术参数 | 高频感应加热炉 1、工作电压:三相AC 380V 50Hz(需60A空气开关) 2、最大输入功率:15KW 3、振荡频率:30KHz-80KHz 4、循环比:80% 5、感应线圈:外径?120mm,内径?110mm,高50mm(可微调) |
温度控制器 1、工作电压:AC208V-240V 单相 2、控温精度:±5℃ 3、温度:连续工作温度1000℃-2000℃,最高工作温度1700℃(工作时间<30min) 4、最大升温速率:1℃/s(0-1000℃)、0.5℃/s(1200℃-1700℃) | |
石墨坩埚(易耗件) 1、高纯石墨坩埚:外径?40mm,内径?37.1mm,高100.5mm(可选购SiC涂层,涂在坩埚内部,以提高金属熔炼时的洁净度) 2、最大容量:样品所占容积应为石墨坩埚容积的1/2 | |
石英管和密封法兰 1、石英管:外径?100mm,内径?92mm,长355mm 2、顶部法兰:不锈钢法兰,装有不锈钢针阀,设有1个铠装接口(可插入热电偶至石英管内部,更准确地测量样品温度) 3、底部法兰:设有不锈钢针阀和KF25接口(可通过波纹管与真空泵相连接) | |
水冷机 1、温度:5℃-30℃ 2、水流速:16L/min 3、水箱容积:12L,采用不锈钢制作 (建议使用特定的冷却剂液以达到最佳的冷却效果) | |
真空泵 1、工作电压:AC208V-240V单相 2、抽气速率:120L/min 3、极限真空度:10-2torr (为了获得更高的真空度以达到更好的熔炼效果,可选购涡旋分子泵,真空度可达10E-5torr) | |
注意事项 | 操作前,必须仔细阅读说明书,且操作人员需带防护面罩。使用时,熔炼必须在≤0.02Mpa 的流动氩气下进行,流量小于200ml/min,需始终保持石英管内的气压<0.02MPa。升温过程中需时刻注意石英管内的气压,若气压超过安 全值,会引起石英管开裂、法兰蹦出,甚至造成人身伤害。 |
其他事项 | 本机可改为RTP(快速热处理炉)和混合物物理化学气相沉积(HPCVD)系统。请参看下图。 |
相关产品
关注
拨打电话
留言咨询