型号: | OTF-1200X-4-RTP |
产地: | 安徽 |
品牌: | 沈阳科晶 |
评分: |
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小型1000℃RTP炉OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速热处理管式炉,配有4"石英管和真空法兰,是专为半导体或太阳能电池基片(最大3")的退火而设计。本机采用10KW红外灯管加热,最快升温速度为 50℃/s,设有30段温度控制,精度为±1℃。此外,通过RS485口和控制软件可在计算机上实现实时控制和温度曲线显示。
小型1000℃RTP炉OTF-1200X-4-RTP视频 控温仪表操作视频
RTP升温速率演示视频 直接升温曲线 分段升温曲线
产品型号 | 小型1000℃RTP炉OTF-1200X-4-RTP | ||
安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:设备需配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水) 2、电:AC220V 50Hz(35A空气开关),必须有良好接地 3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带?6mm双卡套接头) 4、工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上 5、通风装置:需要 | ||
主要特点 | 1、内炉膛表面涂有进口的高温氧化铝涂层,可以提高设备的加热效率,同时可延长其使用寿命。 2、石英样品架固定在滑动法兰上,使样品装载更加容易。 3、样品架上放置76mm(3")的AlN基片,承载需要退火的样品。AIN具有很高的热导率,可使样品放置的区域有很好的温度均匀性(±5℃)。 4、内插式热偶保证了温度的准确性。 5、采用PID自动温度控制,30段程序,并设有过热和断偶保护功能及自整定功能。 6、已通过CE认证。所有电器元件(>24V)都通过了UL/MET/CAS认证。若用户自行承担认证费用,本司保证单台设备通过德国TUV认证和CAS认证。 7、可增加镀SiC的石墨坩埚改造成RTE炉(快速热蒸发炉)。 | ||
技术参数 |
1、电源:208V-240V AC,50Hz/60Hz单相,最大功率9KW(>60A保险) 2、炉体结构:双层莫来石钢构(不带水冷或风冷) 3、石英管:外径?110mm,内径?103mm,长380mm 4、样品架:76mm 5、加热元件:8根红外灯管,灯丝长200mm,丝圈?10mm,灯长300mm 6、恒温区:102mm×305mm,均匀性±5℃ 7、热偶:K型热偶 8、温度:最高温度1100℃,额定温度1000℃(警告:在1000℃-1100℃下保温时间不超过600s,否则O型圈将被烧融) 9、控温精度:±1℃ 10、最快升温速度:RT-800℃内50℃/s,800℃-1000℃内10℃/s 11、最快降温速度:60℃/min(在200mtorr下),117℃/min(在一个大气压下) 12、真空度:50mtorr(机械泵),10-4torr(分子泵) 13、真空法兰: 带有KF-D25高真空不锈钢法兰,配有两个高温O型圈密封 14、流量计:16ml/min-160ml/min 15、真空计:数字真空计,测量范围10mtorr-800torr(注意:此表在氮气下校准的,只有在氮气和空气下表上显示的实际压力,当通入任何其他气体时,必须参考说明书中的相对气体对照表,否则后果会严重) 16、水冷:如要求通冷却水,请确定冷却水流速3L/min、水温20℃、水压25PSI(建议采用循环水制冷器作为冷却系统) | ||
产品规格 | 尺寸:760mm×330mm×530mm;重量:45kg | ||
标准配件 | 1 | AIN基片 | 1片 |
2 | 石英样品架 | 1个 | |
3 | 石英管 | 1根 | |
4 | 石英挡板 | 4片 | |
5 | 红外灯管 | 8根 | |
6 | 真空法兰 | 1套 | |
7 | KF-D25快接 | 2套 | |
8 | 数字真空计 | 1个 | |
9 | 高温手套 | 1双 | |
10 | 高温硅胶圈 | 6个 | |
11 | 聚氨酯水管(外径?12mm、内径?8mm) | 1根 | |
12 | 水管接头 | 2个 | |
13 | 3A保险 | 2个 | |
14 | 4A保险 | 2个 | |
可选配件 | 1、真空泵 2、波纹管(KF-D25接口)(1m) 3、KF-D25快接 4、防腐型数字式真空显示计(测量范围3.8×10-5torr-1125torr,不需要因测量气体的种类不同而进行系数转换) 5、RS485串口和控温软件 | ||
注意事项 | 1、炉管内气压不可高于0.02MPa。 2、由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀。(建议选购本司的减压阀,量程为0.01MPa-0.1MPa,更加精确安全) 3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态。 4、进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。 5、石英管的长时间使用温度<1100℃。 6、对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数。若气压表示数大于0.02MPa,必须立即打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂、法兰飞出等)。 |
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