6″单温区CVD真空管式炉
6″单温区CVD真空管式炉
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6″单温区CVD真空管式炉

参考价：面议
型号： GSL-1100X-6-S
产地： 辽宁
品牌： 沈阳科晶
评分：
沈阳科晶自动化设备有限公司
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产品详情

产品简介：6″单温区CVD真空管式炉GSL-1100X-6-S是一款炉管内径为6″的真空管式炉，可以在不同气氛下，在≤5″的基片上生长多种薄膜。

 

 

产品型号

6″单温区CVD真空管式炉GSL-1100X-6-S

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：如作为CVD系统使用，需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）

4、工作台：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重300kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、双层壳体，配有循环风冷系统。炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料，环保节能。壳体温度<70℃。

2、采用不锈钢真空密封法兰，使用双硅胶密封圈进行密封。

3、设有双K型测温热电偶和一个额外的温度校准检测系统。

4、采用PID控制器，可以设置30段升降温程序。

5、已通过CE认证。

技术参数

1、电源：AC220V 8KW

2、石英管：内径?152mm，长1016mm

3、加热元件：Ni-Cr-Al电阻丝

4、加热区域：600mm

5、恒温区域：200mm

6、工作温度：≤1100℃，连续工作400℃-1000℃

7、升降温速率：≤10℃/min

8、热电偶：双K型

9、控温精度：±1℃

10、真空度：10-2torr（机械泵），10-5torr（分子泵）

11、铠装热偶检测口：1个

12、真空接口：KF40

产品规格

尺寸：1000mm×680mm×920mm；重量：250kg

标准配件

1

石英管

1根

2

氧化铝管堵

2个

可选配件

1、软件接口模块和PC机

2、石英管

3、石英管堵

4、K型热电偶（?6.35mm×915mm，用于对炉膛温度校准）

5、真空泵


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