大面积金刚石自支撑膜机械抛光新技术3-2

2008-10-10 15:08  下载量:2

资料摘要

资料下载

3.2 不同转盘转速对磨抛速率的影响 选用粒度为200/230 和140/170 的金刚石粉在平盘上分别以30r/min、35 r/min、40r/min 的转速研磨2 小时,不同转速对磨抛速率的影响如图2 所示。 图2 不同转盘转速对磨削量的影响 Fig. 2 the effect of the different rotational speeds on the polishing speed 从图2 可以看出,颗粒为140/170 的金刚石粉研磨时,速度越大使得磨削速率越小, 跟通常的观点有些不同。试验现象表现为,在速度不断增加的时候,金刚石粉容易向外移 动,最终被摔出研磨盘。这是因为转速越大,所需的向心力越大,而磨盘的镶刻力不能提 供足够大的向心力,从而金刚石粉容易被摔出,不能充分利用金刚石粉的磨削力,从而影 响磨削效果。颗粒为200/230 的金刚石粉研磨时,在35 r/min 时有个非常的大磨削量,也 就是说在这个转速时磨削效果最佳。试验现象表现为,在30 r/min 时,金刚石粉容易因载 物盘的自转而向磨盘内聚集,影响了磨削效果;而40r/min 时,金刚石粉因为向心力向磨 盘外移动,最后被摔出,也没有起到足够磨削的作用。所以,可以初步估计颗粒为140/170 的金刚石粉磨盘转速在25~30r/min 之间时磨削效果最佳,颗粒为200/230 的金刚石粉在磨 盘转速35r/min 时磨削效果最佳。

资料下载

文献贡献者

相关资料 更多

相关产品

当前位置: 沈阳科晶 资料 大面积金刚石自支撑膜机械抛光新技术3-2

关注

拨打电话

留言咨询