XY轴压电平台

XY轴压电平台

参考价:面议
型号: XY Series
产地: 法国
品牌: CEDRAT
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核心参数
科艺仪器有限公司
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产品详情

压电平台XY200M沿X和Y轴的行程为200 μm,最高可承受3kg的负载。应用领域包括原子力或扫描隧道显微镜和掩膜定位等等。这种平台基于APA200M设计,具有很高的硬度,可以配备精度高达10nm的应变计或涡流传感器。平台沿X,Y和Z轴的转动非常小。移动外框可根据要求定制。紧凑型XY25XS平台非常适合用于光纤定位,微扫描等应用。


参数

单位

XY25XS

XY200M

型号


V-XYXS25

V-XYM200

备注


-

-

传感器


SG

SG,ECS

主动轴


TX,TY

TX,TY

最大空载位移[Tx,Ty]

um

25

200

Z方向最大面外位移

um

0.50

1.00

Z方向的最大转动

urad

50

240

XY方向的最大转动

urad

10

50

电压范围

V

-20…150

-20…150

硬度

N/um

2.50

0.59

高度(Z 轴)

mm

18.0

22.0

尺寸(X&Y 轴)

mm

50*50

100*100

分辨率

nm

0.3

2.0

质量

g

80

180

空载共振频率(在致动方向)

Hz

3000

580

响应时间

ms

0.17

0.86

电容 (每个电气接口)

uF

0.50

6.30

机械接口(有效负载)


1Ф17mm hole+4Ф1.8mm onФ20mm

3Ф2.7mm holes on
Ⅱ38

机械接口 (框架)


4 Ф2.8mm holes on []45

4 Ф4.5mm holes on []84

电气接口


2 RG178B/U同轴电缆

2 RG178B/U同轴电缆


科艺仪器有限公司为您提供CEDRATXY轴压电平台XY Series,CEDRATXY Series产地为法国,属于进口光学平台,除了XY轴压电平台的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多光学平台,科艺仪器客服电话400-860-5168转1451,售前、售后均可联系。

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