方案摘要
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介绍了干涉显微镜测量原理、仪器结构、空间分辨率和测量范围, 分析了测量误差产生的原因, 通过实验表明: 干涉显微镜能够比较真实地反映超光滑表面微观形貌特征, 是超光滑表面微观形貌测量的有效工具。
文献贡献者
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