MKS傅里叶变换红外光谱分析仪MG6030

MKS傅里叶变换红外光谱分析仪MG6030

参考价:面议
型号: MG6030
产地: 美国
品牌: MKS
评分:
核心参数
深圳市昂为电子有限公司
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产品详情

MG 6030傅里叶变换红外光谱分析仪是以傅里叶变换红外为基础的多气体光谱分析仪。其具有ppbppm灵敏度。广泛用于半导体生产工艺控制和监控,气体纯度和组成分析,环境有毒有害气体监视和工业尾气监视。MG 6030傅里叶变换红外光谱分析仪能分析含有高达40%水的气流,能同时分析和显示多达30种气体。分析仪储存了校准光谱,故省出了气体筒的成本。另外,操作者也会发现MG 6030傅里叶变换红外光谱分析仪操作简便,易于维护。

MG 6030傅里叶变换红外光谱分析仪由专利保护的2102傅里叶变换红外制成分光计,高光通量取样单元,专业分析软件及独立的定量光谱库组成。MG 6030收集高分辨率的红外光谱与定量光谱库分析,提供绝大多数气体及水蒸气的高精度,高灵敏度测量。


特点和优点:

●10ppb~100%灵敏度对于绝大多数有毒有害气体

●易于移动从一处移到另一处,设置仅需几分钟

●同时分析和显示多达30种气体

●分析仪储存了校准光谱,省去了气体筒的成本

●取样气体在进入分析室前加热并维持恒定温度

●专利保护的线性检测器,确保所有分析仪维持在相同的校准条件下

●频率和分辨率诊断,确保校准恒定

●提供自动温度和压力补偿以确保分析精度

●用户操作简便软件界面,稍加培训即可操作


应用领域:

●烟囱监测器

●工艺监测改进和优化

●空气环境分析

●气体纯度分析

●燃烧排放监测

●选择性硅整流催化还原性能监测



分析仪主


测试技傅里叶变换红外光

可测试气体或水蒸气绝大多数分子除了氮气,氧气和氢气

范围浓度从10ppb到100%

傅里叶变换红2102制成傅里叶变换红

光谱分辨0.5 - 128cm-1

扫描速每秒5次在0.5cm-1

扫描时1 300

红外碳化硅在1200℃

参考激氦氖(15798.2cm-1)

检测液氮冷却MCT或半导体制冷冷却MCT(汞-镉-碲化物

清洁(Purge)压最大20PSI(1.5bar)

光谱室Purge流0.2升/分,干燥氮气或露点在-70℃以下无二氧化碳干燥空气

光学系统Purge流0.2升/分,干燥氮气或露点在-70℃以下无二氧化碳干燥空气

压力传感MKS Baratron 电容式薄膜压力传感

Purge连Swagelok 快速接

电脑要台式或笔记本电脑带Intel奔腾处理器,微软Wingdows

XP操作系统,1024 X 768显示

通讯RJ-45交叉以太

输出选XML,模拟,AK,其

445mm宽 *318mm高 * 648mm

可安装于19英寸标准机

110V或220V,50/60hz,3A

50公


分析仪采样参

采样温室温至200℃(取决于校准温度

采样速0.2 10升/

采样压0.01 4大气压(取决于校准压力

镀镍铝,或316不锈钢焊接选

Swagelok或VCR

采样压1个大气压(取决于校准压力

加热不锈

铝衬底镍板,镀

KBr﹔CaF2, ZnSe(其他可选)

“O”型密封Viton(其他可选)


检测极

5.11米气室,MCT检测器在0.5cm-1分辨率下,下列典型气体最低检测数据为:


名称

分子式

20/20TM气室,

5分钟检测时间下的检测值

20/20TM气室,

1秒钟检测时间下的检测值

氨气

NH3

30ppb

0.5ppm

二氧化碳

CO2

12ppb

0.2ppm

一氧化碳

CO

72ppb

1.2ppm

甲醛

H2CO

36ppb

0.6ppm

氯化氢

HCl

87ppb

1.5ppm

甲烷

CH4

36ppb

0.6ppm

二氧化氮

NO2

24ppb

0.4ppm

氧化氮

NO

210ppb

3.6ppm

氧化二氮

N2O

30ppb

0.5ppm

四氟化硅

SiF4

10ppb

0.15ppm

二氧化硫

SO2

36ppb

0.6ppm

四氟化碳

CF4

2.5ppb

40ppb

二甲苯磺

C8H10

60ppb

1.0ppm




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