单点晶圆厚度/电阻率测试仪 MX604

单点晶圆厚度/电阻率测试仪 MX604

报价：面议
型号： MX 604-ST
产地： 德国
品牌： E+H Metrology
评分：
瞬渺科技（香港）有限公司
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核心参数
产品详情
简介
MX604-ST是德国E+H Metrology推出的一款专为半导体行业设计的晶圆厚度和电阻率测试仪，适用于2"至8"的晶圆。该设备采用高精度传感器，能在0.3秒内完成测量，厚度精度可达±1μm，并能检测从60μm到750μm厚度范围内的晶圆，支持10-2000Ω/sq的方块电阻和特定范围的电阻率。适用于硅片及SiC等材料的晶圆厚度与电阻率测量。

产品名称：晶圆厚度/电阻率测试仪

品牌：E+H Metrology

型号：MX604-ST

关键词：电阻率，厚度

 

一、简介

德国 E+H Metrology，简称E+H，成立于1968年，位于德国卡尔斯鲁厄。E+H专注于半导体行业、微电子、机械工程等领域表面量测设备定制化开发。厚度和电阻率测量仪组合，MX604-ST配置了同时测量厚度和电阻率的传感器，用于2“ 至 200mm 的晶圆电阻率和厚度测量。

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二、技术规格

晶圆尺寸：2" 至 8" （方形或近方形）

厚度范围：60 - 300µm 或 250 - 750µm

厚度精度：±1μm

传感器直径：20 毫米

有效区域直径：8 毫米

距边缘的距离：10 毫米

测量时间：0.3秒

软件：EHMaster

方块电阻：10-2000Ω/sq

电阻率范围：

0.25 – 50 Ohm•cm (thk.= 250μm)

0.75 – 150 Ohm•cm (thk. = 750μm)


三、应用

用于硅片及SiC等晶圆的厚度和电阻率测量。


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售后服务
  • 产品货期： 60天
  • 培训服务： 安装调试现场免费培训
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