型号: | // |
产地: | 日本 |
品牌: | 半球 |
评分: |
![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
产品特点:
? 椭圆偏振术测量紫外光到可见光波长椭圆参数。
? 0.1nm以上奈米级光学薄膜厚度测量。
? 400波长以上多通道分光的椭偏仪,高速测量椭圆偏光光谱。
? 可自由变换反射测量角度,得到更详细的薄膜解析数据。
? 非线性最小平方法解析多层膜、光学常数。
产品规格:
膜厚测量范围 | 0.1nm~ |
波长测量范围 | 250~800nm(可选择350~1000nm) |
感光元件 | 光电二极管阵列512ch(电子制冷) |
入射/反射角度范围 | 45~90o |
电源规格 | AC1500VA(全自动型) |
尺寸 | 1300(H)×900(D)×1750(W)mm |
重量 | 约350kg(全自动型) |
应用范围:
■半导体晶圆
?电晶体闸极(Gate)氧化薄膜、氮化膜,电极材料等
?SiO 2、SixOy、SiN、SiON、SiNx、Al 2 O 2、SiNxOy、poly-Si、ZnSe、BPSG、TiN
?光阻剂光学常数(波长色散)
■化合物半导体
?AlxGa (1-x) As多层膜、非结晶矽
■平面显示器
?配向膜
?电浆显示器用ITO、MgO等
■新材料
?类钻碳薄膜(DLC膜)、超传导性薄膜、磁头薄膜
■光学薄膜
?TiO 2、SiO 2、多层膜、抗反射膜、反射膜
■平版印刷领域
?g线(436nm)、h线(405nm)、i线(365nm)、KrF(248nm)等于各波长的n、k值评价
应用范例:
非线性最小平方法比对NIST标准样品(SiO 2)膜厚精度确认
相关产品
红外连续可调OPO激光器 德国 Qioptiq
Phasics波前探测器SID4
FROG超短脉冲测量仪+自相关仪+Swamp optics+8-20-USB
Energetiq 激光驱动白光光源LDLS EQ-99XFC
红外相机
Onefive Katana 通用型脉冲激光器
Onefive Origami 低噪声孤子飞秒光纤激光器
美国electrophysics公司 红外相机 7290A
Lyncee 数字全息显微镜 DHM R2100
electrophysics 红外热像仪 ATOM80
OKO N50mm 37/79/109通道压电变形镜(PDM)
Beam Analyzer光束质量分析仪
中红外光谱仪
光纤激光器
光纤放大器
关注
拨打电话
留言咨询