型号: | CVP21 |
产地: | 德国 |
品牌: | Rayscience |
评分: |
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本设备适用于评估和控制在半导体生产中的外延过程并且以被使用在多种不同的材料上, 例如:Silicon, Germanium, III-V including III-Nitrides.
CVP21的净室和模块化的系统设计结构使得本系统可以高效率,准确的测量半导体材料(结构,层)中的掺杂浓度分布.选用合适的电解液与材料接触,腐蚀,从而得到材料的掺杂浓度分布。电容值电压扫描和腐蚀过程由软件全自动控制
CVP21的系统特点
• 坚固可靠的模块化系统结构 .光学,电子和化学部分相对独立.
• 精确的测量电路模块
• 强力的控制软件,系统操作,使用简便
• 完善的售后服务体系
特别推荐晶硅太阳能电池研究单位使用
知名用户:
(Shin-Etsu SEH or ISFH)In the field of solar cell research, the CVP21 system is currently being used at many research centres. It was first used in 1999 by the Fraunhofer Institute for Solar Energy Systems (ISE) in Freiburg, Germany, and since then it has been installed at the Institute for Molecules and Materials (IMM) in Nijmegen, The Netherlands, the RWE Space Solar Power GmbH in Heilbronn, Germany, the Hahn-Meitner-Institute (HMI) in Berlin, Germany, and the Institute for Solar Energy Research (ISFH) in Hamelin/Emmerthal, Germany.
在德国和日本都有很多太阳能电池用户使用,鉴于商业保密需要不能公开。
全自动, 特别适用于新材料, 如氮化镓, 碳化硅材料,多晶硅等等。
有效检测:
•最大 1021/cm³
•最小 1011/cm³
精密的电路,电子系统
强力的软件
用户单位 | 采购时间 |
上海交通大学 | 2006/12/30 |
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