MEMS Analysis Tool

2018-09-10 15:55  下载量:20

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MEMS Analysis Tool是一个后分析软件。它提供了量化和精确的3D空间和频率分析,时间序列的形貌图(4D),通过DHM®同时拍摄面内和离面运动,离面运动精度达到MEMS激光测振仪精度(5pm),面内运动精度则远超MEMS测振仪精度,达到了1nm。

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