真空腔等离子清洗仪

此款便利的真空设备清洗装置帮助去除存在于扫描电镜（SEM）、聚焦离子束（FIB）以及其他真空室的大气污染、碳氢化合污染物以及碳污染物。Evactron 25 De-Contaminator等离子清洗机利用射频低温等离子体制造氧自由基，沿壁清除污染物。对于真空设备上的X射线窗口等没有伤害。
1年原厂保修。

 • 安装操作便利
 • 配合真空腔接口以及清洗机控制器进行操作
 • 通过面板或者电脑对压力、功率以及时间进行预设
 • 无需特殊气体
 • 先进的等离子监测功能
 • 保留清洗以及问题记录，方便日常维护
 • 电器外壳尺寸14x23x18 cm
 • RF Power: 5-20 Watts at 13.56 MHz
 • KF 40真空法兰，另有转接法兰可供选择。 使用
 • 90-250 VAC 50/60 Hz input
 • 重量8 kg