电镜样品等离子预处理腔

       扫描电镜成像时经常会因为受到来自样品和样品台上的碳氢污染物 而降低成像质量。Gentle Asher能够对那些比较担心的或者高碳氢 污染物水平的样品在放入真空腔之前进行预处理。Gentle Asher预 处理腔，通过连接等离子发生器和机械泵，能够清洗掉样品表面的 碳氢污染物。预处理腔可以作为清洗设备或者存放设备独立使用。
       Gentle Asher不同于一般的等离子清洗机。样品上的碳氢污染物通 过射频低温等离子的温柔漂洗，被分解为CO2, CO & H2O。而不会 喷射、轰击出剧烈的等离子给腔体本身造成损伤。结束时分解物会 被抽离出真空腔。

• 直径203mm 高度127mm
• 3 KF 40 + 1 KF 25 真空法兰
• 可选适应TEM样品夹持器的法兰
• 1个排气口+阳极镀膜的4英寸OD玻璃观察窗
• 重量10kg
• 1年保修