型号: | sample stage |
产地: | 德国 |
品牌: | Kammrath & Weiss |
评分: |
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大行程(300mm)大尺寸(12寸)扫描电镜样品台
这一系列样品台针对特别大的样品,如晶圆片而设计的。它也非常适合于承载样品台。可适用于大部分的扫描电子显微镜。大致结构就是直角坐标和可倾斜的共心样品台设计。在大多数情况下,样品室内部的大小(包括一些检测器等),影响决定可放入的晶圆片大小。
该样品台很容易与标准SEM样品台交换。
最多提供5个轴向的马达控制,由驱动部件、直流测速电机和光学编码器组成。
行程:X和Y =150每毫米,Z= 40毫米,旋转无限制,倾斜:水平度至60度。更大的覆盖范围可定制。
倾斜轴在样品夹持器上方5mm,因此有足够的空间可以把晶片支架放在上面。倾斜轴与晶片在同一水平面上。当在X和Y移动,视场始终保持在焦平面上。
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