大行程（300mm）大尺寸(12寸)扫描电镜样品台

大行程（300mm）大尺寸(12寸)扫描电镜样品台

这一系列样品台针对特别大的样品，如晶圆片而设计的。它也非常适合于承载样品台。可适用于大部分的扫描电子显微镜。大致结构就是直角坐标和可倾斜的共心样品台设计。在大多数情况下，样品室内部的大小（包括一些检测器等），影响决定可放入的晶圆片大小。

该样品台很容易与标准SEM样品台交换。

最多提供5个轴向的马达控制，由驱动部件、直流测速电机和光学编码器组成。

行程：X和Y =150每毫米，Z= 40毫米，旋转无限制，倾斜：水平度至60度。更大的覆盖范围可定制。

倾斜轴在样品夹持器上方5mm，因此有足够的空间可以把晶片支架放在上面。倾斜轴与晶片在同一水平面上。当在X和Y移动，视场始终保持在焦平面上。