铝蚀刻液混酸(硝酸、磷酸、醋酸)的测定 应用资料

2022/06/14   下载量： 7 次

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应用领域 半导体
检测样本 集成电路
检测项目 化学性质>分散性/浓度, 其他
参考标准 SEMI

铝蚀刻液混酸(硝酸、磷酸、醋酸)的测定 应用资料 在半导体制程上，铝蚀刻液主要成分是硝酸、磷酸、醋酸和水，其中硝酸、磷酸、醋酸和水的组成比例会影响到蚀刻的速率，故需要对这种混酸溶液的成分进行分析。在本应用说明中，描述了通过中和滴定法测定非水溶剂中的硝酸、磷酸和醋酸的浓度。每种酸在水中的强度不能单独检测，但是在有机溶液中，它可以单独检测到。采用该滴定法，同时检测到三个终点。

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铝蚀刻液混酸(硝酸、磷酸、醋酸)的测定 应用资料

在半导体制程上，铝蚀刻液主要成分是硝酸、磷酸、醋酸和水，其中硝酸、磷酸、醋酸和水的组成比例会影响到蚀刻的速率，故需要对这种混酸溶液的成分进行分析。在本应用说明中，描述了通过中和滴定法测定非水溶剂中的硝酸、磷酸和醋酸的浓度。每种酸在水中的强度不能单独检测，但是在有机溶液中，它可以单独检测到。采用该滴定法，同时检测到三个终点。


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文献贡献者

可睦电子（上海）商贸有限公司-日本京都电子（KEM）
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