博精电子报-三氯硅烷的成份分析

2009-09-22 16:20  下载量:28

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半导体及太阳能产业中,常用的化学品-Trichlorosilane三氯硅烷的纯度同,是对制程十分重要的议题。但是因为此化合物非常不稳定,只要一接触到水气,就会分解成氯化氢HCI及二氧化硅SIO2,会堵塞注射针及分析系统,增加分析难度,所以一直以来是半导体及太阳能产业的分析实验室试图解决的问题。

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