型号: | ST5000 |
产地: | 韩国 |
品牌: | 科美仪器 |
评分: |
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1996年以来,科美在半导体,平板显示器,电子物质,生命科学和化学分析上,研发和提供了独特的,先进的解决方案。科美,作为测量和分析技术市场上的领头和动力,以它突出的表现得到了世界范围的认可。
活动范围 ~300mm x 300mm
测量范围 100Å~ 35㎛(Depends on Film Type)
光斑尺寸 40㎛/20㎛,4㎛(option)
测量速度 1~2 sec./site(fitting time)
应用领域 All Capability of ST2000 & More Precision Measurement
Intended for Large Size Wafer Measurement
选择 Transmittance Module
Reference Sample(K-MAC or KRISS or NIST)
接物镜旋转器 Quintuple Revolving Nosepiecs
焦点 Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
附带照明 12v 100W Halogen Lamp
尺寸 1100 x 1250 x 1550 mm
重量 400kg
类型 自动的
测量方法 无连接的
测量原理 反射计
特征
测量迅速,操作简单
非接触式,非破坏方式
优秀的重复性和再现性
2D/3D 映射和造型
自动机械活动控制
电荷耦合器件照相机
自动调焦
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