供货周期: | |
品牌: | Ted Pella |
货号: | 693-1 |
符合ISO 17025:2017标准的CDMS产品。NIST标准的可追溯性或单独认证有证书。
Pelcotec™ CDMS-XY ISO标样是一种用于扫描电镜、场发射扫描电镜、离子束雕刻、CD-SEM、激光扫描显微镜和原子力显微镜快速、精确校准的便捷工具。该标样提供了 X 和 Y 两个坐标轴的比例尺线,可在不旋转样品台的情况下轻松进行二维校准。
Pelcotec™ CDMS-XY ISO标样使用最新的半导体和微电子制造技术制成,具有卓越的线缘质量,可提供广泛的测量范围。
该标样有两种特征尺寸范围可选,分别是 Pelcotec™ CDMS-XY-1T ISO和 Pelcotec™ CDMS-XY-0.1T ISO,每个尺寸范围都提供可追溯和认证标样,总共有四种:
Pelcotec™ CDMS-XY-1T ISO:特征尺寸范围为 2.0mm 到 1um,适用于放大倍率在 10x - 20,000x 之间的台式扫描电镜和低到中等放大应用。
产品编号 | 描述 | 单位 |
---|---|---|
693-1 | Pelcotec™ CDMS-XY-1T ISO,2mm - 1µm,可追溯,没有样品座 | 个 |
Pelcotec™ CDMS-XY-1C ISO:每个标样均根据 NIST 标准进行了单独认证,特征尺寸范围为 2.0mm 到 1µm,适用于放大倍率在 10x - 20,000x 之间的台式扫描电镜和低到中等放大应用。
产品编号 | 描述 | 单位 |
---|---|---|
697-1 | Pelcotec™ CDMS-XY-1C ISO,2mm - 1µm,已认证,没有样品座 | 个 |
Pelcotec™ CDMS-XY-0.1T ISO:特征尺寸范围为 2.0mm 到 100nm,适用于所有扫描电镜和大多数场发射扫描电镜应用,放大倍率可达 10 - 200,000x。
产品编号 | 描述 | 单位 |
---|---|---|
694-1 | Pelcotec™ CDMS-XY-0.1T ISO,2mm - 100nm,可溯源,没有样品座 | 个 |
Pelcotec™ CDMS-XY-0.1C ISO:每个标样均根据 NIST 标准进行了单独认证,特征尺寸范围为 2.0mm 到 100nm,适用于所有扫描电镜和大多数场发射扫描电镜应用,放大倍率可达 10 - 200,000x。
产品编号 | 描述 | 单位 |
---|---|---|
698-01 | Pelcotec™ CDMS-XY-0.1C ISO,2mm - 100nm,已认证,没有样品座 | 个 |
该标样的特征尺寸范围见下表:
Pelcotec™ CDMS-XY-1T ISO 和 -1C ISO 的特征尺寸为:
2mm、1mm、0.5mm、0.1mm、50µm、10µm、5µm、2µm 和 1µm。
Pelcotec™ CDMS-XY-0.1T ISO 和 0.1C ISO 的特征尺寸为:
2mm、1mm、0.5mm、0.1mm、50µm、10µm、5µm、2µm 和 1µm、500nm、250nm 和 100nm。
可选的预先安装在样品座上。
Pelcotec™ CDMS-XY-1-ISO | Pelcotec™ CDMS-XY-0.1-ISO | |
基底尺寸:2.5×2.5mm | ✓ | ✓ |
基底厚度:525±10μm | ✓ | ✓ |
唯一序列识别号 | ✓ | ✓ |
2mm、1mm、0.5mm 的校准方块 | ✓ | ✓ |
垂直于 X 轴和 Y 轴的刻度线,间距为 10um、5μm、2μm 和 1μm | ✓ | ✓ |
仅限高分辨率版本 - 垂直于 X 和 Y 轴的附加刻度线以 500、250 和 100 nm 节距标出 | — | ✓ |
特征材料:50nm Cr (2mm - 5µm) | ✓ | ✓ |
特征材料:20nm Cr/50nm Au(2μm 和 1μm) | ✓ | ✓ |
特征材料:20nm Cr/50nm Au(500、250 和 100nm) | — | ✓ |
可在晶圆级追溯到 NIST(ISO 17025:2017 认证标准) | T 版本 | T 版本 |
CDMS 标样直接获得 NIST 标准认证(ISO 17025:2017 认证标准) | C版本 | C版本 |
不含样品座 | ✓ | ✓ |
可安装于SEM样品台 | ✓ | ✓ |
精度优于0.3% | ✓ | ✓ |
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