型号: | GuD |
产地: | 韩国 |
品牌: | NCD |
评分: |
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应用:
柔性基板镀层(Al2O3)
穿透率(water vapor transmission rate) of<5.0x10-4 g/m2
用于Micro OLED沉积(Al2O3)
适用工业化大批生产
优势:
高产能 :>10 wafer/hour (Ref.: 30k/month, Tact Time: 1min @50nm)
基板尺寸 :≤12 inch
特点:
先进的工艺kit及紧凑的反应室, 以实现短的反应气体循环周期
极其实现化的原子层沉积机制
小的占用面积
综合集成化的工艺单元模组
简便的工艺控制
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