用于SEM(EBSD)分析的大面积样品制备新手段

2015/06/10   下载量: 12

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应用领域 其他
检测样本 其他
检测项目
参考标准 B/T16594--1996

GATAN 第二代精密刻蚀镀膜仪(PECS TMII)是一款桌面型宽束氩离子抛光及镀膜设备。对于同一个样品,可在同一真空环境下完成抛光及镀膜。PECSII是一款完全独立、结构紧凑的台式设备。采用两个宽束氩离子源对样品表面进行抛光,去除损伤层,从而得到高质量样品,用于在SEM,光镜或者 扫 描 探 针 显 微 镜 上 进 行 成 像 、 EDS、 EBSD、 CL、 EBIC或其它分析。

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