方案摘要
方案下载| 应用领域 | 材料 |
| 检测样本 | 半导体材料 |
| 检测项目 | |
| 参考标准 | 电子束感生电流 EBIC 技术 |
电子束感生电流 (EBIC) 技术可通过测量样品或设备暴露于电子束时流动的电流，对半导体材料和设备的局部电气性能进行表征。 电子束射到半导体上时，会形成电子空穴对。如果载流子（即上文所述的电子空穴对）扩散到带有内置电场的区域，则电子和空穴将分离，电流将流 动。当电流流动到外电路时，EBIC 技术会测量该电流。在没有重组中心（自由电子和空穴湮没的位置）的材料中，收集到的电流将是均匀的，而且并 不相关。然而，引发电子和空穴重组的样品区域减少了收集电流，造成 EBIC 图中形成对比，因此揭示了半导体样品中（少数）载流子的流动。
电子束感生电流 (EBIC) 技术可通过测量样品或设备暴露于电子束时流动的电流，对半导体材料和设备的局部电气性能进行表征。
电子束射到半导体上时，会形成电子空穴对。如果载流子（即上文所述的电子空穴对）扩散到带有内置电场的区域，则电子和空穴将分离，电流将流
动。当电流流动到外电路时，EBIC 技术会测量该电流。在没有重组中心（自由电子和空穴湮没的位置）的材料中，收集到的电流将是均匀的，而且并
不相关。然而，引发电子和空穴重组的样品区域减少了收集电流，造成 EBIC 图中形成对比，因此揭示了半导体样品中（少数）载流子的流动。
文献贡献者
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