COXEM台式电镜在电子半导体领域应用（中文）

2018/10/17   下载量： 4 次

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应用领域 半导体
检测样本 其他
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参考标准 国际标准

使用扫描电镜研究半导体和微电子设备时，需要尽可能的获取最全面的信息。因此灵活地选择和使用操作参数(加 速电压、样品倾斜, 扫描时间等), 以及采取正确的分析方法，都是非常重要的。

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使用扫描电镜研究半导体和微电子设备时，需要尽可能的获取最全面的信息。因此灵活地选择和使用操作参数(加 速电压、样品倾斜, 扫描时间等), 以及采取正确的分析方法，都是非常重要的

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北京欧波同光学技术有限公司
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