· 从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗机。
· RF为200W的高性能输出类型(PR210C)。
· 由于是尺寸紧凑的台式机,很小的位置都可以安装。
· 同步,自动调谐,操作简单(PR210C)。
· 等离子体反应器(灰化设备)(PR210C)。
【用途】①去除光刻胶 ②部品清洗 ③界面活性处理 ④微研磨 ⑤硅晶圆,玻璃基板对应
晟鼎精密:SPV200大腔体等离子体清洗机,真空处理
达因特:大气直喷枪头等离子清洗机 SPA-5200
晟鼎精密-真空等离子清洗机设备 SPV-60L
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等离子体表面处理仪
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