型号: | V1000 |
产地: | 日本 |
品牌: | 雅马拓科学 |
评分: |
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· 13.56MHz 高频输出的等离子清洗机,搭载RIE·DP 双模式。
· 可变更电极构造提高等离子效果。
· 搭载高精度适配器,高性能RF电源。
· 可根据需求规格提供定制。
【用途】
① 硅晶圆的灰化及蚀刻;② 基板表面污垢处理;③ IC/LED封装、BGA/CSP基板处理;
④ 半导体相关部品的电子材料的干式清洗;⑤ 自然氧化膜·有机物去除;
⑥ 界面活性处理;⑦ 表面污染物去除;
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