供货周期: | 一周 |
品牌: | sevenstar |
货号: |
质量流量计(MFM)用于对气体的质量流量进行精密地测量。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
标 准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为:
标准温度………………0℃(273.15K)
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA;-15V,50mA
输出电压检测…………0~+5.00V
技术参数:
满量程流量范围(N2) | 5SCCM~30SLM | |
控制范围 | 2~100%F.S. | |
准确度 | ≤10SLM | ±1%F.S. |
>10SLM | ±2%F.S. | |
线性 | ≤10SLM | ±0.5~1%F.S. |
>10SLM | ±2%F.S. | |
重复精度 | ±0.2%F.S. | |
响应时间 | ≤4sec | |
工作温度范围 | 5~45℃ | |
工作压差 | <0.02MPa | |
耐压 | 10MPa | |
漏气率 | 1×10-9SCCSHe | |
密封材料 | 氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶 | |
接头选择 | VCR | 1/4”或φ4hose、φ6hose |
Swagelok | 1/8”、1/4”或φ3、φ6mm | |
电插头形式 | DB15 pin(Male) | |
抗电磁干扰 | CE | |
重量 | 0.7Kg |
相关产品
详细地址
联系电话
关注
拨打电话
留言咨询