型号: | HYBRID-III |
产地: | 韩国 |
品牌: | Seron |
评分: |
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世伦科技专业制造高性能钨灯丝扫描电镜,成功完成微纳米操作机械手和AIS扫描电镜的无缝连接,软硬件配合得当。
应用领域:
● 材料研究
● 法医和犯罪研究
● 微尺度精度控制
● 高分辨分析
● 显微摩擦学研究
● 纳米建造
● 半导体开发生产
主要性能
1. 迪卡坐标的独立轴运动
2. 在扫描电镜景深方向,绝对垂直轴的配置,
3. 可选择的X Y轴位置传感器,重复精度好于60nm
4. 小型化的设计,适合任何样品室
5. 多种轻松校准工具的选择
6. 结实耐用,
7. 移动限位采用碰撞,不损失位置信息
8. 从纳米到厘米行程,纯压力驱动,没有外加电机。
9. 1nm的探针分辨率
10.至少1微米的定位精度
11.整个操纵器低至10nm的的减震装置
12. 行程可在5~50mm范围内选择
13. 模块化设计方便选择每个轴的尺寸和行程
14. 操纵器独立稳定,不影响样品的自由移动
15. “微手提钻头”方式处理的材料可达50g
16. 可为适合任何扫描电镜有效使用的操纵器提供足够的信息交换网络电子附件
17. 通过不同的探针技术来实现传感器和执行机构的可靠接触
18. 可选择包括电子器件和软件力反馈
19. 不同的显微镊子系列
20. 升级成晶圆探测系统
21. 可选择 显微拉力装置
22. 可选择模式识别的可视系统
23. 获得大量有价值的项目:带有适配器的微型传感器和执行机构
24. 可提供2-5自由度的高精度定位样品台,形成一个有机纳米操纵系统
25. 三个级别的软件控制:动态链接库,手动控制,自动控制
The Nano manipulators can easily be installed in any member of the series of AIS SEM. Within the
microscope chamber the Nano manipulators are mounted on an additional flange on the door,
pointing towards the sample stage. If the door is opened the manipulators come out in the same way
as the sample stage. First assembling and testing steps can be performed in air, perhaps visualized
by a long working distance optical microscope. After closing the door the combination of Nano
manipulator and SEM leads to a powerful tool as a workbench. All manipulators are available as
complete system, for example including :
- Individual vacuum chamber design, assembly systems
- Cable harness, feed-through
- Electronics, software, (Force Feedback-) joysticks
- Tip holders, different probe tips, including electrical support
- Different approach electronics for all kind of probe tips and samples
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