方案摘要
世伦科技AIS系列扫描电镜采用高灵敏度大面积闪烁体E-T型二次电子探测器,可方便的进行二次电子和背散射电子图像采集模式的切换,所采集的背散射图像效果可以和二次电子图像媲美。 本文主要介绍未镀膜非导电样品,二次电子探测器观察背散射信号原理,以及应用案例。
文献贡献者
扫描电镜图像中电压反差影响研究
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