光刻胶薄膜的溶涨性能研究

2010/08/19   下载量: 133

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采用具有耗散功能的石英晶体微天平(QCM-D)和红外光谱技术研究了不同类型光刻胶薄膜的溶涨性能及其影响因素。

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