diener Bell Jar 35 等离子清洗机

基本设备

• 外壳约宽 560 mm x 高 1640 mm x 深 620 mm

• 腔室容积：约 35 升

• 供电电源： 230 V / 16 A

气源

• 3 个质量流量控制器 (MFCs)

真空腔室

• 硼硅玻璃材质的玻璃罩
  ? 315 mm x 高 500 mm

溅射源

• 1 个溅射源 2" - 3" + 挡板
  （可为反应过程选配排烟管和进气口）

基材支架

• ? 140 mm （可选择旋转型、基材加热器、基材冷却装置）

• 可切换为等离子体预处理的电极（清洗、活化、蚀刻）

控制系统

• PCCE 控制系统 (Microsoft Windows XPe)

压力测量

• Pirani

发生器

直流偏置电源或单极性脉冲

最大功率 300 W
最大电压 600 V，直流电

发生器为 0 - 100% 无级可调型

真空泵

• 规格和制造商均各有不同（按照活性炭过滤器的需要）

其他选项

备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、Faraday Box、等离子体聚合配件、测试墨水、 氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。