进口德国BMT WLI Infra干涉仪

进口德国BMT WLI Infra干涉仪

参考价:面议
型号: WLI Infra
产地: 德国
品牌: BMT
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WLI Infra干涉仪

德国BMT WLI Infra干涉仪是用于硅薄膜的厚度测量设备。仪器适用于实验室、车间和生产线上的质量管理。测量头提供空前的重复性,设计坚固紧凑、免维护,适用于在线测量。

产品特点:

MEMS、硅梁、透明薄材料的非接触高精度厚度测量;

纳米级分辨率;

手动或自动测量步骤设计,简单易用;

不受温度变化和热效应的影响;

极佳的重复性;

可配备表面轮廓测量。

技术参数:

厚度分辨率(nm)             <1

探针大小   (&mu;m)              约150(可定制)

厚度范围   (&mu;m)              0.1-600

仪器尺寸   (mm)             320x320x380

重量          (kg)               120

晶圆夹具                             定制,可达30cm

全自动测量

标准或定制的软件包
 

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