型号: | WLI Infra |
产地: | 德国 |
品牌: | BMT |
评分: |
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WLI Infra干涉仪
德国BMT WLI Infra干涉仪是用于硅薄膜的厚度测量设备。仪器适用于实验室、车间和生产线上的质量管理。测量头提供空前的重复性,设计坚固紧凑、免维护,适用于在线测量。
产品特点:
MEMS、硅梁、透明薄材料的非接触高精度厚度测量;
纳米级分辨率;
手动或自动测量步骤设计,简单易用;
不受温度变化和热效应的影响;
极佳的重复性;
可配备表面轮廓测量。
技术参数:
厚度分辨率(nm) <1
探针大小 (μm) 约150(可定制)
厚度范围 (μm) 0.1-600
仪器尺寸 (mm) 320x320x380
重量 (kg) 120
晶圆夹具 定制,可达30cm
全自动测量
标准或定制的软件包
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