方案摘要
方案下载| 应用领域 | 半导体 |
| 检测样本 | 其他 |
| 检测项目 | |
| 参考标准 | / |
双氧水也 叫过氧化氢，过氧化氢是一种重要 的化工 原料，化学式为 H2 O2。 纯过氧化氢是淡蓝色的黏稠液体 ，可任意比例与水混溶 ，是一种强氧化 剂 ，水溶液俗称双氧水 ，为无色透明液体 。双氧水的生产方法主要有电 解法 、蒽醌法 、异丙醇法 、氧阴极还原法和氢氧直接化合法等 ，蒽醌法 是生产双氧水 的主要方法 ， 国 内 99%以上 的双氧水装置采用该工 艺。
双氧水也 叫过氧化氢，过氧化氢是一种重要 的化工 原料，化学式为 H2 O2。纯过氧化氢是淡蓝色的黏稠液体，可任意比例与水混溶 ，是一种强氧化 剂水溶液俗称双氧水 ，为无色透明液体 。双氧水的生产方法主要有电解法 、蒽醌法 、异丙醇法 、氧阴极还原法和氢氧直接化合法等 ，蒽醌法是生产双氧水 的主要方法国内99%以上 的双氧水装置采用该工艺。
双氧水的作用
双氧水根据浓度及应用领域不同可分为电子级 、食品级 、工业级等 。 电子级双氧水是生产电子集成电路不可或缺的化学试剂，在半导体制程前端硅片清洗和剥离蚀刻完成后的光刻胶。主要用于半导体硅晶片清洗剂蚀刻剂和光刻胶去除剂，还可用于高级绝缘层制取，电镀液无机杂质去除，电子行业中铜 、铜合金和镓 、锗的处理，以及太阳能硅晶片的蚀刻和清洗。从行业产量来看 2021 年我 国 高纯 电子级双氧水产量 9.44 万吨 ，同 比增长 32.0%。
文献贡献者
药包材不溶性微粒颗粒管控应用案例
氯离子液体颗粒管控实践方案
液态硅烷微米级别液体颗粒管控应用方案
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