P-170 探针式轮廓仪

P-170 探针式轮廓仪

参考价：¥100万 - 200万
型号： P-170
产地： 美国
品牌： KLA
评分：
核心参数
北京亿诚恒达科技有限公司
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产品详情

P-170是cassette-to-cassette探针式轮廓仪，将行业领先的P-17台式系统的测量性能和经过生产验证的HRP®-260的机械传送臂相结合。 这样的组合为机械传送臂系统提供了极低的拥有成本，适用于半导体，化合物半导体和相关行业。 P-170可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。

该系统结合了UltraLite®传感器、恒力控制和超平扫描平台，因而具备出色的测量稳定性。通过点击式平台控制、顶视和侧视光学系统以及带光学变焦的高分辨率相机等功能，程序设置简便快速。P-170具备用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法，可以支持2D或3D测量。并通过图案识别、排序和特征检测实现全自动测量。

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主要功能

·        台阶高度：几纳米至1000μm

·        微力恒力控制：0.03至50mg

·        样品全直径扫描，无需图像拼接

·        视频：500万像素高分辨率彩色摄像机

·        圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差

·        软件：简单易用的软件界面

·        生产能力：通过测序、图案识别和SECS/GEM实现全自动化

·        晶圆机械传送臂：自动加载75mm至200mm不透明（例如硅）和透明（例如蓝宝石）样品


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主要应用

·        台阶高度：2D和3D台阶高度

·        纹理：2D和3D粗糙度和波纹度

·        形状：2D和3D翘曲和形状

·        应力：2D和3D薄膜应力

·        缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌


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工业应用

·        半导体

·        化合物半导体

·        LED：发光二极管

·        MEMS：微机电系统

·        数据存储

·        汽车

·        还有更多：请与我们联系以满足您的要求

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北京亿诚恒达科技有限公司为您提供KLAP-170 探针式轮廓仪，KLAP-170产地为美国，属于进口轮廓仪，除了P-170 探针式轮廓仪的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多轮廓仪,亿诚恒达客服电话400-860-5168转1965，售前、售后均可联系。

KLA轮廓仪P-170的工作原理介绍轮廓仪P-170的使用方法?KLAP-170多少钱一台?轮廓仪P-170可以检测什么？轮廓仪P-170使用的注意事项？KLAP-170的说明书有吗？KLA轮廓仪P-170的操作规程有吗？KLA轮廓仪P-170报价含票含运吗？KLAP-170有现货吗？

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