型号: | SURFIEW 3000 |
产地: | 美国 |
品牌: | KLA |
评分: |
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反复性、准确性、重现性极佳
框架一体型
自动镜头调整钮
优秀的Capacity Sensor
自动滤镜
缝纫功能
自动对焦功能
安装2个变焦距镜头
产品概要
三维表面轮廓仪利用光的干扰,可迅速,准确,并高检测性的对1nm~10mm高度的模型的表面想象进行纳米单位测量。相比接触性方式,不会对测量物造成任何损伤,相比共焦方式,高解像力无关倍率均可得到统一结果,与AFM相比,可在宽测量领域内快速测量。
高度解像力0.1nm
任何倍率下,解像力均统一
测量纳米等级
测量高速,高精密度,高解像力表现形象
可测量透明/半透明/不透明登各种样品
无需非破坏,预加工程序即可轻松测量
反复性,准确性,重现性极佳
应用领域
主要特征
测量高度,长度,段差,线,圆,弧,角度,款,宽,距离
面粗糙度,线粗糙度,波形
测量划痕,磨损,缺陷
测量面积,大小
测试原理
利用光的干涉信号,将表面的形状到1nm~10cm为止,没有材料的破损,从相机中显示的全部领域,正确,检测到高强度为单位。
干涉信号是在任意义的基准点中,同时出现的光在移动到不同的场景(optical path),在移动后合上的时候,用两个场景(optical path)的物理现象,是一种明亮的明亮的形态,这是干涉信号。
精密的Piezo扫描
高度以Piezo扫描通过Capacity Sensor进行Closed Loop
整体扫描范围的0.1%呈线性
通过1次校准,2次校准,提高数据可靠性
Scan范围
Scan范围:100um,150um, 300um, 500um, 10mm
变焦镜头
变焦镜头: 0.33x,0.55x, 0.75x, 1.0x,1.5x, 2.0x
物镜
2.5x,5x, 10x, 20x, 50x, 100x
干涉镜头
干涉镜头(Michelson型) : 0.3x, 2.5x,5x
干涉镜头(Mirau型): 10x, 20x, 50x, 100x
Multi滤光镜
多种滤光镜选择
调整干涉镜头
随温度变化的干涉纹样调整
操作台
真空操作台,选择操作台,Aligner操作台
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