型号: | HRP®-260 |
产地: | 美国 |
品牌: | KLA |
评分: |
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HRP®-260是一款高分辨率cassette-to-cassette探针式轮廓仪。HRP的性能经过生产验证,能够进行自动化晶圆装卸、可为半导体、化合物半导体、高亮度LED、数据存储和相关行业提供服务。P-260配置支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的二维及三维测量,其扫描深度可达200mm而无需图像拼接。 HRP®-260配置的功能与P-260相同,并增加了能够对小特征进行高分辨率和高产量测量的高分辨率平台。
HRP®-260的双平台功能可以进行纳米和微米表面形貌的测量。 P-260配置提供长扫描(最长200mm)的功能,无需图像拼接,HRP®-260提供高分辨率扫描平台,扫描长度可达90μm。 P-260结合了UltraLite®传感器、恒力控制和超平扫描的功能,实现了出色的测量稳定性。 HRP®-260采用高分辨率压电扫描平台提高性能。 通过采用点击式平台控制、低倍和高倍率光学系统以及高分辨率数码相机,其程序设置快速简便。 HRP®-260支持二维和三维测量,具有各种滤镜、调平和数据分析算法,以量化表面形貌。 并且通过自动晶圆装卸、图案识别、排序和特征检测以实现全自动测量。
主要功能
· 台阶高:纳米至327μm
· 恒力控制的低触力:0.03至50mg
· 样品全直径扫描,无需图像拼接
· 视频:在线低倍和高倍放大光学系统
· 圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差
· 软件:简单易用的软件界面
· 生产能力:通过测序、图案识别和SECS / GEM实现全自动化
· 晶圆机械传送臂:自动加载75mm至200mm不透明(例如硅)和透明(例如蓝宝石)样品
· HRP:高分辨率扫描平台,分辨率类似于AFM
主要应用
· 台阶高度:2D和3D台阶高度
· 纹理:2D和3D粗糙度和波纹度
· 外形:2D和3D翘曲和形状
· 应力:2D和3D薄膜应力
· 缺陷复检:2D和3D缺陷表面形貌
工业应用
· 半导体
· 复合半导体
· LED:发光二极管
· MEMS:微机电系统
· 数据存储
· 汽车
· 还有更多:请与我们联系以满足您的要求
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