1200℃滑动双温区/多温区PECVD系统

1200℃滑动双温区/多温区PECVD系统

参考价:面议
型号: 1200℃滑动双温区/多温区PECVD系统
产地: 天津
品牌: 中环电炉
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产品详情

产品用途:

产品专业性:

PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

 

产品组成:

PECVD系统配置:

1.1200度开启式双温区真空管式炉

2.等离子射频电源

3.多路质量流量控制系统

4.真空系统(可选配中真空或高真空)  

 

产品特点:

生长温度低;沉积速率快;成膜质量好,适用范围广,设备简单。

天津中环电炉股份有限公司为您提供中环电炉1200℃滑动双温区/多温区PECVD系统,中环电炉1200℃滑动双温区/多温区PECVD系统产地为天津,属于国产马弗炉、电阻炉、实验炉,除了1200℃滑动双温区/多温区PECVD系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供1200℃预加热滑动双多温区PECVD系统、1200℃滑动式CVD系统、1200℃双管滑动式单温区/多温区CVD系统,中环电炉客服电话400-860-5168转1978,售前、售后均可联系。

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