Moxtek紫外线栅偏振片的应用领域与发展前景


Moxtek专为240nm到400nm紫外波段应用设计紫外偏振片,采用特有的纳米线栅技术,性能优异,具有大入射角,宽波长范围,耐热性高,高透过率,高消光比等特点。

产品型号和规格

技术数据:透过率以及消光比


紫外偏振片主要应用

1.半导体设备应用

DUV步进器和DUV扫描仪是半导体生产过程中的核心和关键单元。使用波长为248nm和193nm的单色紫外线辐射,将结构从光掩模板转移到衬底上。在光刻材料的曝光中增加偏振光可将分辨率提高20%。

紫外偏振片也广泛用在无图形晶圆光学检测设备上,实现高精度的缺陷检测。

2.紫外线固化

偏振紫外线用于固化高端印刷行业中使用的紫外线敏感油墨,使用偏振光可以实现更快的生产速度和更大的产能,从而提高机器和工厂的利用率。

3.光对准 Photo Alignment

使用240至300nm范围内的线性偏振紫外线,可以实现LC显示器行业的精确对准,以生成各向异性对准膜。传统的摩擦聚酰亚胺会产生灰尘、静电和机械损伤。在不用大面积变动的情况下,UV偏振光允许极快生成均匀和稳定的偏置倾斜角。

4.光谱仪

Moxtek UVD260和UVD240偏振片可用于光谱仪,与Glan-Taylor棱镜相比,其小尺寸、宽接受角、均匀性和宽波长带宽特点具备明显的优势,另外相比传统的Glan-Taylor棱镜,UVD系列偏振片还具有更高的对比度和透过率,同时支持更大的AOI,需要更少的空间,没有光学像差,厚度仅为2mm左右。

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