电子级NF3的分析检测

高麦克仪器 GOW-MAC

市场需求最大的电子特气--nf₃

三氟化氮是一种腐蚀性气体。它具有较强的氧化能力,可用作火箭推进剂的氧化剂,还可用作等离子体工艺中的刻蚀气体,与其它气体混合,则可用于硅化物的刻蚀。用于蚀刻厚度小于1.5微米时，蚀刻速度快，选择性强。全球产能3万吨，国内占比3成。

三氟化氮有毒,在空气中的容许极限浓度为10μl/l,直接危害生命和健康的浓度为2000μl/l。三氟化氮对皮肤、肝脏、心脏和肾脏等有损害。

为了保证三氟化氮的质量，对三氟化氮的纯度技术指标标准如下：

三氟化氮中主要的杂质有氩、氧、一氧化碳、二氧化碳、四氟化碳、氧化亚氮、六氟化硫、水、无机氟化物等。只要准确测定三氟化氮气体中各种杂质气体的含量,就可以求得三氟化氮的纯度。

高麦--电子级nf₃中痕量杂质分析整体解决方案

为保证电子级nf₃中的痕量杂质全部分析，仅需搭载三台高麦仪器即可全部检出：即gm 592 did气相色谱仪、midac i系列ftir、tiger halo 3 h₂o分析仪。

国内某知名电子特气工厂的标准配置图

gm 592 did气相色谱仪技术优势：

midac i系列ftir技术优势：

tiger halo 3 h₂o 分析仪技术优势：

实际应用谱图

图片 4.png

三氟化氮样品气——gm 592 did气相色谱仪

hf样品气——midac i系列ftir

高麦成立于1935年,

在中国、美国、日本、韩国等多个国家设有

技术、研发中心，生产、组装工厂、客户运营中心，

逐步形成以北京为总部，

在武汉、杭州，日照，台湾等地分别设立

技术研发和客户运营中心的生态网络，

全方位的为中国乃至全球客户

打造专属的气体行业解决方案。

the cornerstone of technology,

since 1935.

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