高麦工业用氪氙气体分析解决方案

高麦克仪器 GOW-MAC

2022/08/26 09:23
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氪、氙是空气中的稀有气体，由于其本身特性使氪氙广泛应用在照明灯具填充气，平板电脑制造、电子芯片制造、空间/卫星产业、医疗行业、检测行业、基础科研等各行业领域中。空气中存有氦、氖、氩、氪、氙等五种稀有气体，其中氪、氙含量最少，由于其提取工艺复杂，空气中占比稀少，售价高昂，因此氪、氙有“黄金气体”之称。


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电子工业中氪氙气体主要应用在3D NAND存储器高深宽比蚀刻工艺，从而实现多层堆叠结构。全球电子级稀有气体主要厂商有德国林德气体、法国液化空气、美国空气化工以及乌克兰CRYOIN，中国供应商占比较大为广东华特气体及福建博纯材料。从中国的发展来看，由于稀有气体国产化全面推进，中国或将成为全球最大的生产基地。


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图 1：GWO-MAC 5900 DID气相色谱仪

GOW-MAC 5900 DID气相色谱仪采用美国GOW-MAC专利DID（氦离子化检测器），气路系统采用双中心切割技术，可以一次完成多种复杂成分的检测，软件配有CLARITY工作站，可满足自动分析、数据存储、数据上传、阀路控制等，还可轻松集成到任何实验室现有工作流程中。

GOW-MAC 5900 DID气相色谱仪配有DID检测器、4阀4柱，可同时分析高纯氪气、氙气中的痕量杂质，满足国标氪气《GB/T 5829—2006》、氙气《GB/T 5828--2006》分析要求，杂质检出限≤5ppb（以CH4计）。

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图 2：氙标中杂质分析



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高麦 成立于1935年,

在中国、美国、日本、韩国等多个国家设有

技术、研发中心，生产、组装工厂、客户运营中心，

逐步形成以北京为总部，

在武汉、杭州，日照，台湾等地分别设立

技术研发和客户运营中心的生态网络，

全方位的为中国乃至全球客户

   打造专属的气体行业解决方案。


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The Cornerstone of Technology,
Since 1935.


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