方案摘要
方案下载| 应用领域 | 电子/电气 |
| 检测样本 | 其他 |
| 检测项目 | 化学性质>杂质含量 |
| 参考标准 | 无 |
往往含氟电子特气中的常量杂质分析，比如O2、Ar、CO、CO2、CH4等，采用高麦气相色谱仪即可完全检出，但其中的HF、SF6、SO2等腐蚀性气体杂质，由于含量低、易吸附、腐蚀性强等原因导致很难检出。
含氟电子气体的细分品类众多，主要包括CF4、C2F6、C3F8、C4F8、C4F6、CHF3、SF6、NF3等传统含氟电子气体，以及COF2、ClF3、F2等新型低GWP含氟气体。
文献贡献者
高麦电子级乙硅烷分析解决方案
高麦电子工业用六氟化钼分析解决方案
高麦氩中微量杂质分析解决方案
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