方案摘要
方案下载| 应用领域 | 电子/电气 |
| 检测样本 | 其他 |
| 检测项目 | |
| 参考标准 | 六氟丁二烯 |
六氟丁二烯，是一种新型的含氟电子气体，可作为蚀刻气、聚合单体、合成中间体等用于工业生产。与传统的等离子蚀刻气CF4、C2F6、C3F8、C4F8和NF3相比，六氟丁二烯具有更快的蚀刻速率、高蚀刻选择性和高深度比。 更重要的是六氟丁二烯在大气中寿命较短，且分子中不含氯，对大气的臭氧层显现惰性，因此六氟丁二烯是一种温室效应极低且绿色高效的蚀刻气体。
六氟丁二烯，是一种新型的含氟电子气体，可作为蚀刻气、聚合单体、合成中间体等用于工业生产。与传统的等离子蚀刻气CF4、C2F6、C3F8、C4F8和NF3相比，六氟丁二烯具有更快的蚀刻速率、高蚀刻选择性和高深度比。
更重要的是六氟丁二烯在大气中寿命较短，且分子中不含氯，对大气的臭氧层显现惰性，因此六氟丁二烯是一种温室效应极低且绿色高效的蚀刻气体。
文献贡献者
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