方案摘要
方案下载| 应用领域 | 石油/化工 |
| 检测样本 | 工业气体 |
| 检测项目 | 含量分析>纯度及杂质含量 |
| 参考标准 | 碳酰氟 |
碳酰氟，分子式为CF2O，也称为氟光气、羰基氟、氟化羰，常温常压下外观为无色气体状，可加压液化，便于储存，有刺激性，有毒性，有强腐蚀性。碳酰氟可溶于乙醇，可溶于水，遇水可水解排放出剧毒氟化氢、二氧化碳气体，不可燃，遇高温可分解，分解产物为四氟化碳、二氧化碳，在密闭容器中有爆炸危险。 碳酰氟应用领域包括有机合成原料、有机合成中间体、有机合成氟化剂以及有机合成的纯化与干燥等方面。高纯碳酰氟可应用于半导体产业中，用作晶圆蚀刻剂、半导体设备清洗剂。碳酰氟的ODP（消耗臭氧潜能值）为零，GWP（全球变暖潜能值）低，是一种环保性好的气体，在全球半导体产业规模不断扩大背景下，其需求持续增长，是主要电子气体产品之一。
碳酰氟，分子式为CF2O，也称为氟光气、羰基氟、氟化羰，常温常压下外观为无色气体状，可加压液化，便于储存，有刺激性，有毒性，有强腐蚀性。碳酰氟可溶于乙醇，可溶于水，遇水可水解排放出剧毒氟化氢、二氧化碳气体，不可燃，遇高温可分解，分解产物为四氟化碳、二氧化碳，在密闭容器中有爆炸危险。
碳酰氟应用领域包括有机合成原料、有机合成中间体、有机合成氟化剂以及有机合成的纯化与干燥等方面。高纯碳酰氟可应用于半导体产业中，用作晶圆蚀刻剂、半导体设备清洗剂。碳酰氟的ODP（消耗臭氧潜能值）为零，GWP（全球变暖潜能值）低，是一种环保性好的气体，在全球半导体产业规模不断扩大背景下，其需求持续增长，是主要电子气体产品之一。
文献贡献者
氢能发展重要方向——氢氨一体化
高麦氢能整体解决方案
高麦电子级乙硅烷分析解决方案
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