型号: | JSM-6510 |
产地: | 日本 |
品牌: | 日本电子 |
评分: |
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JSM-6510扫描电子显微镜
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JSM-6510A/ JSM-6510LA分析型扫描电子显微镜,与日本电子公司的元素分析仪(EDS),统合于一体。结构紧凑的EDS由显微镜主体系统的电脑控制,操作员只用一只鼠标,就可完成从图像观测到元素分析的整个过程。
操作窗口
直观的操作界面的设计,简明易懂便于迅速掌握操作。
支持多用户
单个用户可以根据常用功能设置相应的图标,营造快捷的操作环境。用户登录时,即可加载已注册过的设定。
同时显示两幅图像
画面上并列显示二次电子成像和背散射电子成像这两种实时图像。可同时观察样品的形貌和组成分布。
微细结构测量
适合于多种测量功能。可在观察图像上直接进行测量。也可将测量结果贴至SEM图像,保存在文件中。
标准的全对中样品台,能收录三维照片
3D Sight(选配件),能够进行平面测量和高度测量,实现立体俯视图。
从图像观察到元素分析,配合连贯一条龙
分析型扫描电子显微镜配备两台监视器,一台用于SEM图像观察和另一台用于元素分析(EDS)。一只通用鼠标即可同时控制两台监视器。大尺寸画面使操作更加简便与舒适。
维护简便
工厂预置中心灯丝,十分便于更换。因此,可长期保持稳定的高性能。此外,操作界面还能以映像形式显示灯丝维护的步骤说明。
可信赖的真空系统
真空系统使用高性能的扩散泵保证了洁净的高真空状态。扩散泵内部无活动部件,体现了操作稳定,维护简便的特色。
JSM-6510规格 保证分辨率 3.0nm(30kV)
8.0nm(3kV)
15nm(1kV)
放大倍数 5至300,000x
加速电压 0.5kV至30kV
电子枪 工厂预对中灯丝
聚光镜 变焦聚光镜
物镜 锥形物镜
样品台 全对中样品台
X-Y 80mm-40mm
Z 5mm至48mm
旋转 360°
倾斜 -10°至+90°
排气系统
(高真空模式) DPx1,RPx1
排气系统
(低真空模式) DPx1,RPx2
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