型号: | usurf custom |
产地: | 德国 |
品牌: | nanofocus |
评分: |
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应用领域: |
共2个
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产品介绍
usurf系列产品采用多孔共聚焦技术,结合CCD的影像摄取,以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞,再将物镜垂直移动,以类似断层摄影方式,可在短时间(约几秒)内精确量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式,不会破坏样品的表面,不需要在真空环境下测量,也可以用显微镜测量的功能来观测样本,其在严酷的工作环境下,也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法,在测量渐变较大的高度时,跟其他方法相比,可以更精确量测物体高度,建立3D立体影像,优势相当明显。
NanoFocus μsurf custom三维共聚焦表面测量系统,可以根据客户的具体需求进行样品平台和软件的定制,功能齐全,可以自动测量,能精确捕捉样品的三维结构和微纳米尺度的复杂几何形状,并拥有超高光学分辨率和最全面广泛的三维表面形貌分析处理能力。该机台还配备了整合计算机和测量系统的工作台,可以将一些测试报告等资料放在工作台的抽屉里,便捷可靠。
应用
usurf系列用来测量表面物理形貌,进行微纳米尺度的三维形貌分析,如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓(纵深、宽度、曲率、角度)、表面粗糙度等。
 精密部件:检测对表面磨损,表面粗糙度,表面微结构有要求的零部件,比如发动机汽缸、刀口等;
 生命科学:测量stents支架上镀层厚度等
 微电子机械系统:微型器件的检测,医药工程中组织结构的检测,如基因芯片等
 半导体:检测微型电子系统,封装及辅助产品结构设计
 太阳能:太阳能电池片栅线的3D形貌表征、高宽比测量,制绒后3D形貌表征(单晶金字塔大小、数量、角度,多晶腐蚀坑形貌、密度),粗糙度分析等
 纸张:纸张、钱币表面三维形貌测量
 LED:用于蓝宝石衬底的测量,抽检PSS ICP后的WAFER的3D形貌
技术参数
LED光源:λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
测量时间:2~10秒
测量原理:非接触、共聚焦
X/Y方向:平台移动范围:100mmX100mm/200mmX200mm/300mmX300mm(大小可选),马达驱动,X/Y方向分辨率:0.3μm
Z方向测量范围:350μm,Z方向分辨率:< 1nm
物镜:10X、20X、50X、100X(可选)
离轴摄像头(10X),最大视野8 x 6 mm2(选配)
计算机:高性能计算机控制系统,功能强大且全面的软件,有拼接功能
配有专业工作台:尺寸1550x800x750 mm (LxWxH)
工作电源:100-240V, 50-60Hz,input: 550 VA
材质:钢铁、橡胶、大理石
重量:约150KG+80KG
洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)
用户单位 | 采购时间 |
德豪润达 | 2010/09/09 |
厦门三安光电 | 2010/07/14 |
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