椭偏光谱仪在TiO2薄膜及多层增透膜中的应用

2015-09-28 09:55  下载量:3

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采用UVISEL相调制型椭圆偏振光谱仪对TiO2 Thin Films and Multilayer Antireflective Coatings样品进行分析,研究其膜层厚度和相应光学性质。

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