椭偏光谱仪在TFT－LCD显示器中的应用

2018/05/16   下载量： 0 次

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应用领域 钢铁/金属
检测样本 铝
检测项目 含量分析>铁元素, 锰元素
参考标准 无

椭偏仪是一种无损的薄膜表征方法，它可针对单层或多层光学薄膜给出膜厚、折射率、消光系数、甚至材料的带隙等丰富信息。并可表征膜中的各向异性、渐变、孔隙率等各种不均匀性。本文中，使用椭偏仪表征了TFT-LCD显示器件中透明电极、液晶及a-Si各膜层。分析了透明电极中的渐变层、液晶的各向异性、及a-Si的n型掺杂。

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椭偏光谱仪在TFT－LCD显示器中的应用

椭偏仪是一种无损的薄膜表征方法，它可针对单层或多层光学薄膜给出膜厚、折射率、消光系数、甚至材料的带隙等丰富信息。并可表征膜中的各向异性、渐变、孔隙率等各种不均匀性。本文中，使用椭偏仪表征了TFT-LCD显示器件中透明电极、液晶及a-Si各膜层。分析了透明电极中的渐变层、液晶的各向异性、及a-Si的n型掺杂。

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上海巨纳科技有限公司
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